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CuO/CeO_2/γ-Al_2O_3催化剂的结构及氧物种  CNKI文献

应用XRD、ESR及XPS方法研究了CuO/CeO2/γ-Al2O3催化剂的体相及表面结构,并对催化剂表面氧物种进行了表征.实验结果表明,CeO2使Cu2+还原为低价钢离子和增加钢化合物的分散性.催化...

田扬超 伏义路... 《催化学报》 1994年03期 期刊

关键词: CuO/CeO2/γ-Al_2O_3催化剂 / 表面结构 / 体相结构 / 表面氧物种

下载(239)| 被引(33)

深度紫外光刻图形精度模拟研究  CNKI文献

UV-LIGA技术是制作大高宽比微电子机械(MEMS)的方法之一,而UV-LIGA技术的关键工艺之一为深度紫外光刻.由于紫外光衍射效应影响紫外光刻的微结构图形精度.本文主要研究了衍射效应对深紫外光刻精度的影响,并与实验结果进...

田扬超 《安徽师范大学学报(自然科学版)》 2005年03期 期刊

关键词: SU-8 / 菲涅耳衍射 / 紫外光刻 / MEMS

下载(203)| 被引(8)

同步辐射X射线光刻应用新领域──LIGA技术  CNKI文献

介绍了一种超微细加工新方法-LIGA技术,并就LIGA技术对掩模材料、光刻胶和光源的要求予以讨论,同时还介绍了国外在这方面的最新研究成果。LIGA技术是深度X射线刻蚀、电铸成型和塑料铸模等技术相结合的...

田扬超 胡一贯... 《原子能科学技术》 1994年04期 期刊

关键词: LIGA技术 / X射线光刻 / 同步辐射 / 超微细加工

下载(194)| 被引(7)

CuO/γ-Al_2O_3上CO和NO吸附的红外光谱研究——1.氧化态  CNKI文献

应用红外光谱研究了CO,NO及其混合气在氧化态CuO/γ-Al_2O_3上的吸附。用XPS测量了表面铜的价态,用XRD分析了催化剂的物相。综合实验结果可知,催化剂体相为CuO,,CuAl_2O_4,,而Cu~+和Cu~(2+)则在样品表面上并存。红外光...

田扬超 伏义路... 《分子催化》 1991年04期 期刊

关键词: CuO / 红外光谱 / Al_2O_3 / 氧化态

下载(124)| 被引(9)

CuO/γ-Al_2O_3上CO和NO吸附的红外光谱研究——Ⅱ.还原态  CNKI文献

应用红外光谱技术研究了CO和NO及其混合气体在还原态CuO/γ-Al_2O_3上的吸附.XRD分析样品物相仅有Cu~0,但是,XPS和IR都证明样品表面上除Cu~0外,还有Cu~(2+)和Cu~+。CO以分子态的形式吸附在Cu~+和Cu~0上(低于173K,无NO...

田扬超 伏义路... 《分子催化》 1992年06期 期刊

关键词: CuO/γ-Al_2O_3催化剂 / CO和NO吸附 / CO和NO反应 / 红外光谱

下载(135)| 被引(5)

CuO-La_2O_3/γ-Al_2O_3上CO和NO吸附的红外光谱研究  CNKI文献

应用XRD分析了催化剂的体相结构,用红外光谱研究了CO和NO在CuO-La_2O_3/γ-Al_2O_3催化剂上的吸附,并对表面铜的价态进行了表征。氧化态样品的体相存在CuO、CuAl_2O_4,可能还有CuLa_2O_4物相,表面铜以+2价的形式存在。...

田扬超 伏义路... 《中国科学技术大学学报》 1993年04期 期刊

关键词: CO吸附 / NO吸附 / CuO-La_2O_3/γ-Al_2O_3催化剂

下载(84)| 被引(6)

微细加工新方法——LIGA技术  CNKI文献

本文介绍了一种微细加工新方法 LIGA(in German LIthograhy,GalvanoformungAbformung)技术的基本原理及特点.同时还简单说明了这种方法的技术要求.报道了国内外在...

田扬超 《物理》 1996年02期 期刊

关键词: 微细加工 / 深度X线刻蚀 / 三维立体加工 / 应用

下载(147)| 被引(3)

CO和NO在铜氧化物表面上吸附赝势从头算  CNKI文献

采用赝势从头算方法(PS-HONDO) 分别计算了CO和NO以C(或N) 和O端吸附在Cu~(2+)和Cu~+上的基态势能曲线,其计算结果表明NO是以N端吸附在Cu~(2+)或Cu~+上,CO以C端吸附在Cu~+,可能以O端吸附在Cu~(2+)上.CO(或NO)吸附在Cu...

田扬超 段玉华... 《化学物理学报》 1994年03期 期刊

关键词: 从头算 / 势能曲线 / 吸附键 / 吸附分子

下载(101)| 被引(5)

LIGA实验站的设计及应用  CNKI文献

介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站,研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响;对深度同步辐射光刻扫描台的精度提出了理论要求;报道了深度同步辐射光刻、电铸和塑铸的实验结果.

田扬超 刘刚... 《中国科学技术大学学报》 2007年Z1期 期刊

关键词: 同步辐射 / LIGA / 深度光刻

下载(106)| 被引(1)

LIGA技术制作微细金属图形的研究  CNKI文献

本文介绍了用LIGA技术制作微细金属图形的原理及工艺过程,讨论了影响金属图形质量的因素,同时报导了国家同步辐射实验室用LIGA技术研究微细金属图形的结果。

田扬超 傅绍军... 《仪器仪表学报》 1996年S1期 期刊

关键词: 金属层 / 工艺过程 / 光刻胶 / 技术制作

下载(76)| 被引(8)

自润滑微机械系统研究  CNKI文献

介绍了一种制作含有固体润滑剂的自润滑微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用,能够有效地减少微电子机械接触面的微摩擦力和微电子机械的磨损,从而延长微电子机械的寿命...

田扬超 刘刚... 《微细加工技术》 1999年02期 期刊

关键词: 自润滑微电子机械 / LIGA / MoS_2

下载(59)| 被引(1)

深度同步辐射光刻初探  CNKI文献

LIGA技术被认为是制作微机械最有前途的方法,而LIGA技术较为关键的一步是深度同步辐射光刻.报道了深度同步辐射光刻的进展,刻蚀出了外圆直径为38μm~39μm,叶长约8μm,高约25μm的扇叶状微结...

田扬超 傅绍军... 《光学学报》 1994年04期 期刊

关键词: 同步辐射 / 光刻

下载(55)| 被引(2)

国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用  CNKI文献

LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射实验室LIGA试验线站的参数。详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等LIGA技术方面的研究进展,同...

刘刚 田扬超 《机械工程学报》 2008年11期 期刊

关键词: LIGA技术 / 微塑铸 / 微流体器件

下载(498)| 被引(17)

深度同步辐射X射线光刻技术  CNKI文献

深度同步辐射X射线光刻技术深度同步辐射X射线光刻是LIGA技术的关键技术之一,而在80年代中期,德国W。Ehrfeld教授[1]及同事创造的LIGA技术被认为是进行三维超微细加工最有前途的加工方法。L...

田扬超 《物理》 1995年02期 期刊

关键词: 光刻技术 / 同步辐射

下载(54)| 被引(0)

LIGA技术制作微反应器的研究  CNKI文献

介绍了微反应器的基本原理 ,根据化学反应传质和传热的需求 ,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计 ,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器。

刘刚 田扬超... 《微细加工技术》 2002年02期 期刊

关键词: 微反应器 / 微管道 / LIGA技术

下载(325)| 被引(21)

全国青年学者同步辐射研讨会在合肥召开  CNKI文献

20 0 0年全国青年学者同步辐射研讨会于 4月 5日至 6日在中国科学技术大学国家同步辐射实验室召开 .本次研讨会由中国物理学会全国同步辐射专业委员会主办、国家同步辐射实验室承办 ,第二届同步辐射专业委员会主任委员...

田扬超 《物理》 2000年10期 期刊

关键词: 同步辐射 / 青年学者 / 研讨会

下载(22)| 被引(0)

同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA...  CNKI文献

简述了微电子机械系统的起源和特点 ,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术 ,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明 ,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状

刘刚 田扬超... 《物理》 2002年11期 期刊

关键词: LIGA技术 / 微电子机械系统 / 同步辐射光刻

下载(309)| 被引(7)

LIGA技术制造微流量计的研究  CNKI文献

介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究 ,讨论了微流量计的结构和工作原理 ,设计和研制了一种微流量计。

刘刚 田扬超... 《微细加工技术》 2000年04期 期刊

关键词: 微流量计 / LIGA / 微装配

下载(148)| 被引(17)

Ku波段磁绝缘线振荡器的数值模拟  CNKI文献

根据现有的慢波结构色散特性的理论分析,提出了一种Ku波段的磁绝缘线振荡器(MILO)。与常见MILO的慢波结构不同,该MILO的慢波结构通过增大扼流腔的外半径来实现扼流作用,以防止阴阳极击穿。利用3维电磁场模拟软件对Ku波...

文杰 田扬超... 《强激光与粒子束》 2011年11期 期刊

关键词: 磁绝缘线振荡器 / 慢波结构 / 数值模拟 / 高功率微波

下载(56)| 被引(9)

CeO_2上CO和CO_2吸附表面体的红外光谱研究  CNKI文献

应用红外光谱技术研究了CO,CO_2等在氧化态和还原态CeO_2上表面吸附体的形成及反应,归属了所观察到的红外吸收带,证实在表面上存在HCO_3~-,HCOO~-,及两种不同键合方式的CO_3~(2-)等表面物种。观察到HCO_3~-有两种存在...

伏义路 田扬超... 《中国科学技术大学学报》 1989年04期 期刊

关键词: CO吸附 / CO_2吸附 / 表面吸附体 / 表面红外光谱

下载(129)| 被引(6)

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