CuO／CeO_2／γ－Al_2O_3催化剂的结构及氧物种 CNKI文献
应用ＸＲＤ、ＥＳＲ及ＸＰＳ方法研究了ＣｕＯ／ＣｅＯ２／γ－Ａｌ２Ｏ３催化剂的体相及表面结构，并对催化剂表面氧物种进行了表征．实验结果表明，ＣｅＯ２使Ｃｕ２＋还原为低价钢离子和增加钢化合物的分散性．催化...
关键词： CuO／CeO2／γ－Al_2O_3催化剂 / 表面结构 / 体相结构 / 表面氧物种
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UV-LIGA技术是制作大高宽比微电子机械(MEMS)的方法之一,而UV-LIGA技术的关键工艺之一为深度紫外光刻.由于紫外光衍射效应影响紫外光刻的微结构图形精度.本文主要研究了衍射效应对深紫外光刻精度的影响,并与实验结果进...
介绍了一种超微细加工新方法－ＬＩＧＡ技术，并就ＬＩＧＡ技术对掩模材料、光刻胶和光源的要求予以讨论，同时还介绍了国外在这方面的最新研究成果。ＬＩＧＡ技术是深度Ｘ射线刻蚀、电铸成型和塑料铸模等技术相结合的...
CuO/γ-Al_2O_3上CO和NO吸附的红外光谱研究——1.氧化态 CNKI文献
应用红外光谱研究了CO,NO及其混合气在氧化态CuO/γ-Al_2O_3上的吸附。用XPS测量了表面铜的价态,用XRD分析了催化剂的物相。综合实验结果可知,催化剂体相为CuO,,CuAl_2O_4,,而Cu~+和Cu~(2+)则在样品表面上并存。红外光...
CuO/γ-Al_2O_3上CO和NO吸附的红外光谱研究——Ⅱ.还原态 CNKI文献
应用红外光谱技术研究了CO和NO及其混合气体在还原态CuO/γ-Al_2O_3上的吸附.XRD分析样品物相仅有Cu~0,但是,XPS和IR都证明样品表面上除Cu~0外,还有Cu~(2+)和Cu~+。CO以分子态的形式吸附在Cu~+和Cu~0上(低于173K,无NO...
关键词： CuO/γ-Al_2O_3催化剂 / CO和NO吸附 / CO和NO反应 / 红外光谱
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CuO-La_2O_3/γ-Al_2O_3上CO和NO吸附的红外光谱研究 CNKI文献
应用XRD分析了催化剂的体相结构,用红外光谱研究了CO和NO在CuO-La_2O_3/γ-Al_2O_3催化剂上的吸附,并对表面铜的价态进行了表征。氧化态样品的体相存在CuO、CuAl_2O_4,可能还有CuLa_2O_4物相,表面铜以+2价的形式存在。...
田扬超 伏义路... 《中国科学技术大学学报》 1993年04期 期刊
关键词： CO吸附 / NO吸附 / CuO-La_2O_3/γ-Al_2O_3催化剂
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本文介绍了一种微细加工新方法 ＬＩＧＡ（ｉｎ Ｇｅｒｍａｎ ＬＩｔｈｏｇｒａｈｙ，ＧａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇＡｂｆｏｒｍｕｎｇ）技术的基本原理及特点．同时还简单说明了这种方法的技术要求．报道了国内外在...
采用赝势从头算方法(PS-HONDO) 分别计算了CO和NO以C(或N) 和O端吸附在Cu~(2+)和Cu~+上的基态势能曲线,其计算结果表明NO是以N端吸附在Cu~(2+)或Cu~+上,CO以C端吸附在Cu~+,可能以O端吸附在Cu~(2+)上.CO(或NO)吸附在Cu...
介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站,研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响;对深度同步辐射光刻扫描台的精度提出了理论要求;报道了深度同步辐射光刻、电铸和塑铸的实验结果.
本文介绍了用ＬＩＧＡ技术制作微细金属图形的原理及工艺过程，讨论了影响金属图形质量的因素，同时报导了国家同步辐射实验室用ＬＩＧＡ技术研究微细金属图形的结果。
介绍了一种制作含有固体润滑剂的自润滑微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用，能够有效地减少微电子机械接触面的微摩擦力和微电子机械的磨损，从而延长微电子机械的寿命...
ＬＩＧＡ技术被认为是制作微机械最有前途的方法，而ＬＩＧＡ技术较为关键的一步是深度同步辐射光刻．报道了深度同步辐射光刻的进展，刻蚀出了外圆直径为３８μｍ～３９μｍ，叶长约８μｍ，高约２５μｍ的扇叶状微结...
LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射实验室LIGA试验线站的参数。详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等LIGA技术方面的研究进展,同...
深度同步辐射Ｘ射线光刻技术深度同步辐射Ｘ射线光刻是ＬＩＧＡ技术的关键技术之一，而在８０年代中期，德国Ｗ。Ｅｈｒｆｅｌｄ教授［１］及同事创造的ＬＩＧＡ技术被认为是进行三维超微细加工最有前途的加工方法。Ｌ...
介绍了微反应器的基本原理 ,根据化学反应传质和传热的需求 ,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计 ,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器。
20 0 0年全国青年学者同步辐射研讨会于 4月 5日至 6日在中国科学技术大学国家同步辐射实验室召开 .本次研讨会由中国物理学会全国同步辐射专业委员会主办、国家同步辐射实验室承办 ,第二届同步辐射专业委员会主任委员...
同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA... CNKI文献
简述了微电子机械系统的起源和特点 ,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术 ,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明 ,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状
介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究 ,讨论了微流量计的结构和工作原理 ,设计和研制了一种微流量计。
根据现有的慢波结构色散特性的理论分析,提出了一种Ku波段的磁绝缘线振荡器(MILO)。与常见MILO的慢波结构不同,该MILO的慢波结构通过增大扼流腔的外半径来实现扼流作用,以防止阴阳极击穿。利用3维电磁场模拟软件对Ku波...
CeO_2上CO和CO_2吸附表面体的红外光谱研究 CNKI文献
应用红外光谱技术研究了CO,CO_2等在氧化态和还原态CeO_2上表面吸附体的形成及反应,归属了所观察到的红外吸收带,证实在表面上存在HCO_3~-,HCOO~-,及两种不同键合方式的CO_3~(2-)等表面物种。观察到HCO_3~-有两种存在...
