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新型高k栅介质材料研究进展  CNKI文献

随着半导体技术的不断发展 ,MOSFET (metal oxide semiconductorfieldeffecttransistor)的特征尺寸不断缩小 ,栅介质等效氧化物厚度已小至nm数量级。这时电子的直接隧穿效应将非常显著 ,将严重影响器件的稳定性和可靠...

章宁琳 宋志棠... 《功能材料》 2002年04期 期刊

关键词: MOSFET / 高k材料 / 栅介质

下载(788)| 被引(34)

铅酸蓄电池用隔板技术现状及应用  CNKI文献

综述了富液式铅酸蓄电池和VRLA电池对隔板的不同需求 ,详细列举了VRLA电池对隔板提出的新要求 ;根据铅酸蓄电池应用领域的不同 ,包括启动、点火、照明用 (SLI)、工业用、阀控密封式及牵引用铅酸蓄电池 ,总结了相应隔板...

章宁琳 胡信国... 《电源技术》 2001年S1期 期刊

关键词: 铅酸蓄电池 / 隔板 / 循环寿命

下载(247)| 被引(11)

新型高K栅介质ZrO_2薄膜材料的制备及表征  CNKI文献

采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高K栅介质—非晶ZrO2薄膜。X射线光电子能谱(XPS)中Zr3d5/2和Zr3d3/2对应的结合能分别为182.1eV和184.3eV,Zr元素的主要存在形式为Zr4+,说明薄膜由完全氧化的ZrO2组成,并且纵向分布...

章宁琳 宋志棠... 《功能材料与器件学报》 2003年01期 期刊

关键词: 高K栅介质 / 非晶 / ZrO_2薄膜 / 表面粗糙度

下载(180)| 被引(8)

准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究  CNKI文献

采用准分子脉冲激光沉积法 (PLD)分别在Pt/Ti/SiO2 /Si和SiO2 /Si衬底上制备了ZrO2 薄膜 ,采用扩展电阻法 (SRP)研究了薄膜纵向电阻分布 ;采用X射线衍射法 (XRD)研究了衬底温度对ZrO2 薄膜结晶性能的影响 ;精确测试了...

章宁琳 宋志棠... 《中国激光》 2003年04期 期刊

关键词: 薄膜物理学 / ZrO2薄膜 / 脉冲激光沉积法 / 衬底温度

下载(122)| 被引(11)

体Si和SOI上高k介质材料研究和应用探索  CNKI文献

SOI技术和高κ介质材料的研究是微电子领域发展的前沿课题,本文根据国家973项目,国家自然科学基金等国家任务的需要,开展了体Si和SOI上高κκ介质材料的制备、性能及其应用的研究,获得的主要结果如下: ...

章宁琳 导师:林成鲁 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) 2003-03-01 博士论文

关键词: 栅介质 / MOS / SOI / 光子晶体波导

下载(452)| 被引(1)

超薄顶层硅SOI衬底上高k栅介质ZrO_2的性能  CNKI文献

采用超高真空电子束蒸发法制备了用于全耗尽SOI场效应晶体管 (MOSFET)中作为高k栅介质的ZrO2 薄膜 .X射线光电子能谱 (XPS)分析结果显示 :ZrO2 薄膜成分均一 ,为完全氧化的ZrO2 ,其中Zr∶O =1∶2 2 ,锆氧原子比偏高可...

章宁琳 宋志棠... 《半导体学报》 2003年10期 期刊

关键词: 超高真空电子束蒸发法 / 全耗尽SOIMOSFET / 高k栅介质 / ZrO2

下载(111)| 被引(4)

铅酸电池过放电后容量恢复性能研究  CNKI文献

采用循环伏安法研究了几种板栅合金添加剂对电池过放电后容量恢复性能 (CRP)的影响。采用恒电位极化后续线性电位扫描法对添加剂进行初选 ,并通过电池充放电循环实验验证 ,结果表明 :石墨、K2 SO4 、CdSO4 和H3 PO4 显...

胡信国 章宁琳... 《电池》 2001年04期 期刊

关键词: 板栅合金添加剂 / 过放电 / 容量恢复 / 添加剂

下载(222)| 被引(8)

国外电动车电池的发展近况  CNKI文献

能源危机和环境污染的日益严重使得世界各地都掀起了研制和开发电动车的热潮。车载电源是电动车的心脏,它直接影响到电动车的整车性能。综述了电动车用电源的性能要求,涉及了欧美市场电动车用电池的性能对比,从材料...

胡信国 阎智刚... 《电池》 2001年03期 期刊

关键词: 电动车 / 铅酸电池 / 氢镍电池 / 锂离子电池

下载(1057)| 被引(82)

以Al_2O_3为过渡层脉冲激光法制备PZT铁电薄膜  CNKI文献

为实现PZT铁电薄膜与半导体衬底的直接集成引入Al2O3为过渡层,首先用真空电子束蒸发法在Si(100)、多晶金刚石(111)衬底上生长约20nm厚的Al2O3过渡层,接着在上述衬底上采用脉冲激光淀积(PLD)法淀积PZT薄膜,衬底温度为3...

万青 王连卫... 《功能材料与器件学报》 2002年02期 期刊

关键词: Al2O3 / 过渡层 / PZT / PLD

下载(133)| 被引(3)

近红外波段光子晶体的微细加工方法研究进展  CNKI文献

光子晶体及其在光电子领域的应用是目前国际上的研究热点之一,是一种新型的光电子功能材料。在近红外光通讯领域中,光子晶体(对应光子晶体晶格常数为亚微米)有非常重要的应用,可以制作许多以前所不能制作的高性能光学...

汪扬 宋志棠... 《功能材料》 2003年03期 期刊

关键词: 光子晶体 / 亚微米 / 微细加工制备方法

下载(153)| 被引(2)

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