研制了一套可应用于MEMS器件的微尺度测量系统,可以在受载状态下实时检测MEMS器件的面内位移、离面位移和三维形貌。该系统中,面内位移测量是一个基于白光数字散斑相关方法的显微光学测量系统,与相应的力学加载系统结...
本文提出了一种新颖的干涉条纹图非线性滤波方法，可以选择性地在频域图像的不同区域选用不同的滤波方式，在滤掉图像中大部分散斑噪声的同时，能够减少信息的损失，使图像的内部边界仍然保持清晰。文中首先简介了正交...
讨论了垂直入射与斜入射两种方式的主动式三角法的测量原理，提出在被测物面为反射表面的情况下，用斜入射主动式三角法进行距离和厚度的测量．分析了被测物表面细节形状的变化对测量结果的影响，以及在厚度测量时消除...
碳纤维编织材料制成的物体,在其表面经过模拟烧饰后,其表面的光反射率很低.本文提出了一种改进的投影光刀法,可以用非接触式的光学测量方法测量其表面的粗糙度分布和细微三维形状.首先在物体表面投影一黑白边界;接收时...
基于PC的多通道自带缓存数据采集系统的设计与实现 CNKI文献
本文描述了一自带缓存的数据采集系统，并将本系统所采用的技术与通用的数据采集系统作了比较，最后提出了本系统作进一步升级的方法
关键词： 数据采集系统（DAS） / 缓存 / 可变地址译码
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目前高温环境中材料的变形测量是研究的热点,基于数字图像特征识别的非接触测量方法促进了高温环境变形测量的发展,但由于高温环境的复杂性,存在很多测量影响因素,其中高温环境中热流场的存在对数字图像法的影响尤为明...
基于模型数据库对半导体线宽关键尺寸的蒙特卡罗模拟 CNKI文献
为准确测量半导体线宽,基于电子-固体相互作用理论和固体中电子的传输机制,采用蒙特卡罗模拟方法,深入研究了模型数据库方法在半导体线宽关键尺寸测量中的应用。以Si为样品,采用有限元网格法构建了单层梯形样品结构、...
基于相移干涉技术的晶体溶解及生长边界层实时监测 CNKI文献
晶体在溶解及生长过程中边界层的信息直接影响晶体生长速度和物质输运过程,进而影响晶体质量和生长机制。本文利用相移干涉技术建立了晶体生长过程实时监测系统,对无机盐晶体溶解及生长过程中的边界层信息及物质输运过...
本文的多孔氧化铝薄膜含有直径均一、互相平行且与表面垂直的有序纳米孔阵列。它有广阔的应用前景。多孔氧化铝膜与氧化铝陶瓷材料的宏观力学性能有很大的区别。本文用鼓膜法结合实时电子散斑干涉(ESPI)技术,测量薄膜...
数字图像相关方法是一种非接触式的变形场测量方法。虽然目前该算法能取得较高的计算精度,但是通常存在计算量较大、计算时间较长的问题。为了提高算法的计算效率,本文提出了一种基于移动最小二乘算法拟合整像素位移求...
利用一种特殊的相位龙基光栅和偏振相移技术 ,可同时获得四幅具有不同相移的干涉图 ,由此可计算出被测物体的全场相位分布 ,从而实现对动态过程相位的测量。将该方法应用于马赫 曾德尔干涉系统和散斑干涉系统 ,分别测...
介绍了一种大型雷达天线的动态变形实时测量系统与方法。针对某大型雷达天线超大测量面积、高分辨率、实时测量、测量空间狭小的测量要求和难点,在对大尺寸变形测量方法分析的基础上,对该测量系统的原理、搭建过程以及...
推导了两种常用等步长相移算法的调制度表达式 ,提出一种新的调制度分析方法。该方法用于等步长相移法中基于加权最小二乘法的相位展开 ,能够充分利用调制度信息 ,构造二值和小数权重 ,从而增强相位展开过程对多种干扰...
提出一种形貌测量方法,从未标定序列图中同时提取出特征点的三维坐标和摄像机的运动矩阵,实现对目标物体的三维测量。首先用齐次坐标表达了空间点的投影变换矩阵,并根据该矩阵推导出投影比例式,运用投影深度和投影矩阵...
进入21世纪之后,激光干涉作为一种成熟的非接触式动态测量技术,开始逐步应用于不同的工业领域。激光干涉动态测量技术主要分成两类:一类是基于高速相机的干涉测量技术,而另一类则是基于单像素光电探测器的干涉测量技术...
本文通过鼓膜实验,利用双光束电子散斑干涉技术(ESPI)和时间序列的散斑干涉法,首先对纯铝试样鼓膜变形进行测量,并结合薄板小挠度理论计算了纯铝的弹性模量,结果与弹性模量的参考值基本相同,表明该测量变形的方法精确...
多层二维材料在诸多应用领域拥有广阔的前景,其力学性能是保证材料和器件性能与服役寿命的关键性因素。然而,在以往的力学表征中,其层间耦合作用对于力学性能测量的影响往往被忽略,对随着厚度增加而带来的弯曲刚度效应...
二维位相展开 ( phase unwrapping)是位相检测技术中的一个重要组成部分和技术难点 .本文设计了一种基于广度优先搜索 ( breadth- first search)遍历位相图策略的位相展开算法 .算法的一个显著优点在于能够自动地绕过...
电子背散射衍射(Electron Backscattered Diffraction,简称EBSD)系统作为一个安装在扫描电镜上的重要附件,可以获得晶粒尺寸、相组成、取向以及织构等微观信息,其核心环节是从衍射花样中获得相应晶体信息,这依赖于系统...
