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再议质谱检漏技术中的喷吹法和吸入法  CNKI文献

本文讨论了影响氦质谱检漏技术中喷吹法和吸入法灵敏度的因素以及敏度校准方面的问题,给出了校准喷吹法和吸入法灵敏度的方法,并指出校准吸入法的灵敏度可用配气法,可以不用正压标准漏孔。

范垂祯 《真空》 1998年01期 期刊

关键词: 氦质谱检漏 / 喷吹法 / 吸入法

下载(127)| 被引(11)

ITO透明导电薄膜XPS深度剖面分析  CNKI文献

介绍了镀制 SiO2的 ITO透明导电薄膜的性能特点,描述了用 X射线光电谱仪对典型产品深度剖面的分析过程,给出了实验结果。

范垂祯 谢舒平... 《真空与低温》 2001年01期 期刊

关键词: ITO透明导电薄膜 / X射线光谱仪 / 样品分析

下载(290)| 被引(3)

工业中的现代表面分析技术(Ⅰ) 主要仪器和方法简介  CNKI文献

本文扼要地介绍了几种工业中常用的现代表面分析仪器和方法,如俄歇电子谱(AES)、X-射线光电子谱(XPS)[或称化学分析用电子谱(ESCA)]、二次离子质谱(SIMS)等的基本工作原理、仪器结构、使用...

范垂祯 杨得全... 《物理》 1992年08期 期刊

关键词: 光电子谱 / XPS / 二次离子质谱 / 分析仪器

下载(161)| 被引(3)

CRT 的防护屏与防静电减反射薄膜  CNKI文献

本文介绍了用于视频终端CRT上各种防护屏的主要特点,详细地讨论了防静电减反射玻璃防护屏。

范垂祯 蒋赤萍... 《真空》 1997年04期 期刊

关键词: 防护屏 / 防静电 / 减反射

下载(67)| 被引(6)

表面分析讲座 第三讲 俄歇电子谱仪(一)  CNKI文献

俄歇电子谱仪在表面物理的研究中几乎是必不可少的工具。现已广泛的应用于冶金、半导体工艺、化工、能源、医药等领域,成为质量检测和基础研究的一种有力手段。其特点是:检测的信息深度为1~5个单分子层,以其能量分析...

范垂祯 《真空与低温》 1983年01期 期刊

关键词: 俄歇电子谱仪 / 分析器 / 俄歇电子峰

下载(95)| 被引(2)

电子轰击所引起的二次电子像的变化  CNKI文献

本工作主要研究在超高真空环境中,3keV能量电子束轰击Al、Mo、Cu三金属表面所导致的二次电子像上的变化。通过观察不同金属表面或同一金属但预处理方法不同的表面在电子轰击下,其二次电子像中所发生的变化,对电子诱导...

范垂祯 陈丹 《真空科学与技术》 1989年03期 期刊

关键词: 二次电子产额 / 铝表面 / 电子轰击 / 金属表面

下载(74)| 被引(3)

表面分析讲座 第一讲 固体表面分析方法和仪器介绍  CNKI文献

1.固体表面分析的重要性固体表面分析方法和仪器是表面物理研究的重要内容之一。一些表面现象和效应的研究为表面分析方法和仪器奠定了基础,而表面物理研究取得的进展和成就又为分析方法和仪器的发展和广泛应用紧密相...

范垂祯 《真空与低温》 1982年01期 期刊

关键词: 固体表面 / 晶体结构分析 / 光电子谱 / 低能电子衍射

下载(179)| 被引(0)

电子束作用下铜铍打拿极表面氧化铍分解的俄歇分析  CNKI文献

铜铍合金为打拿极的 Allen 型电子倍增器,作为一个可检测微弱电子流与离子流的器件,已广泛应用于质谱仪、俄歇电子谱仪等装置中。它具有高增益、低噪声、耐中毒和使用方便等特点。铜铍打拿极是用含约2%的铍的铜铍合金...

范垂祯 余镇江 《真空与低温》 1985年01期 期刊

关键词: 电子伏 / 打拿极 / 俄歇分析 / 二次离子质谱分析

下载(70)| 被引(3)

固体表面分析方法和仪器发展概况  CNKI文献

一、 引言(l)-(9) 在最近十几年中,固体表面和表面效应的研究是非常吸引人的,极为活跃的,并取得了很大成就。这与表面分析方法和仪器的迅速发展和广泛应用是分不开的。 有些金属、半导体或绝缘体的制品的表面组份、结...

范垂祯 《真空》 1979年05期 期刊

关键词: RBS / 离子发射 / 分析仪器 / 固体表面

下载(91)| 被引(1)

表面分析讲座 第四讲 俄歇电子谱仪(二)  CNKI文献

在固体表面的俄歇分析中,应用筒镜型能量分析器(CMA)取得俄歇微分谱是普遍采用的灵敏度较高的方法。但是,如何由测出的俄歇峰的位置、峰高、峰形正确地得出关于待测的固体表面的更多信息,既有实验方法,也有数据分析和...

范垂祯 《真空与低温》 1983年02期 期刊

关键词: 俄歇电子谱仪 / 电子枪 / 俄歇分析 / 固体表面

下载(82)| 被引(0)

离子注入法深度剖面定标和注入层组份的定量 AES 分析  CNKI文献

俄歇电子谱(AES)是进行薄膜和表面薄层化学成份微观分析的主要手段之一。提出了一种对离子注入样品进行深度剖面分析时的深度定标方法——离子注入深度定标法。用此方法计算的离子注入投影射程与 LSS 理论值一致。考虑...

范垂祯 杨得全... 《真空与低温》 1990年01期 期刊

关键词: 离子注入 / 表面分析

下载(50)| 被引(1)

薄膜组分深度分布测量中的一些问题  CNKI文献

在薄膜与界面性质研究中,重视组分的深度分布测量,即所谓的深度剖面分析。主要是指用离子轰击表面,将样品表面一层一层地溅射剥离,同时测量一种或多种组分随离子溅射表面的时间(即剥离深度)的变化.第一部分对离子束参...

范垂祯 《真空与低温》 1988年01期 期刊

关键词: 溅射 / 精密测量 / 薄膜物理学 / 表面

下载(43)| 被引(1)

离子溅射合金表面组份再分布的模拟计算  CNKI文献

离子溅射合金和化合物后会引起表面成分的再分布。根据 Kelly 的理论分析观点,综合考虑了择优溅射(PS),离子辐照诱导偏析(RIS)和辐照增强扩散(RED)效应,得到了合金表面成分变化的基本关系。用此分析关系对 Au—Cu、Cu...

范垂祯 杨得全 《真空与低温》 1990年03期 期刊

关键词: 离子束 / 溅射 / 表面组份 / 合金

下载(42)| 被引(1)

表面分析讲座 第二讲 光电子谱仪  CNKI文献

光电子谱仪是用来研究光子从材料中打出的电子能量分布、角度分布和强度的一种表面分析仪器。光电子谱仪中应用的激发源一般为 x 射线源和真空紫外光源两种。用 x 射线源的叫 x光电子谱(XPS);用紫外源的叫紫外光电子谱...

范垂祯 《真空与低温》 1982年02期 期刊

关键词: 分析器 / 紫外光源 / 分辨率 / 光电子谱仪

下载(55)| 被引(0)

表面科学的新进展——第六届国际固体表面会议介绍  CNKI文献

自1974年第二届国际固体表面会议与第六届国际真空会议联合召开以来,这两个国际会议每三年联合召开一次。1986年的第六届国际固体表面会议(ICSS—6)与第十届国际真空会议(IVC—10)及第三十三届美国真空学会年会联合召...

范垂祯 《真空与低温》 1987年04期 期刊

关键词: 碱金属离子 / 固体表面 / 金属表面 / 反应动力学

下载(76)| 被引(0)

AES定量分析中离子溅射修正的实验研究  CNKI文献

在俄歇电子谱(AES)定量分析中,离子溅射是最常用的表面清洁手段。我们在常规的实验条件下,用AES分析了AgCu、NiCr、CuZa和TiMo合金经低能Ar~+离子轰击后表面成分的变化。用不同的离子溅射理论修正关系修正后发现,在减...

范垂祯 杨得全 《真空科学与技术》 1990年03期 期刊

关键词: 离子溅射 / AES / 增强扩散 / 定量分析

下载(46)| 被引(0)

发展中的真空科学——第十三届国际真空会议侧记  CNKI文献

本文介绍了第十三届国际真空会议和第九届国际固体表面会议(IVC-13/ICSS-9)的情况。作者结合会后参观并与前三届会比较,指出我国真空科学发展中存在的问题

范垂祯 《真空》 1996年06期 期刊

关键词: 真空科学 / 国际真空会议

下载(37)| 被引(0)

氮化钛膜AES叠峰的因子分析法分析  CNKI文献

因子分析法是利用各种谱峰的峰形进行成分定量分析的方法,广泛应用于多种成分的混合物、化合物的谱峰分析。通过对因子分析法(FA)的数学过程及其物理意义的进一步分析,对应用 FA 对氮化钛的俄歇电子谱(AES)叠峰进行谱...

范垂祯 汪贵华... 《真空与低温》 1992年04期 期刊

关键词: 氮化钛 / 俄歇电子谱 / 表面分析

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电子诱导表面化学态变化的俄歇分析  CNKI文献

本工作主要研究了超高真空环境中(6.7×10~(18)Pa)多晶Al、Mo、Cu表面在3keV能量电子束的轰击下,表面化学态的变化。利用AES(俄歇电子能谱)中的一些化学态讯息,对电子诱导表面化学态变化的过程进行了观察,并对这些...

范垂祯 陈丹 《真空科学与技术》 1987年04期 期刊

关键词: 化学态 / 电子轰击 / 俄歇跃迁 / 电负性差

下载(39)| 被引(0)

GaAs-Al_x Ga_(1-x)As异质结的SIMS定量分析  CNKI文献

本文利用二次离子质谱对GaAs~-AI_xGa_(1-x)As异质结进行了定量深度分析。首先,在对LTE模型中的温度T的物理意义作了进一步探讨的基础上,提出采用相对灵敏度因子结合双定标的LTE模型法,对GaAs-Al_xGa_(1-x)As异质结的...

范垂祯 陈宇 《真空科学与技术》 1991年02期 期刊

关键词: 异质结 / GaAs-Al_x / Ga / 定量分析

下载(36)| 被引(0)

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