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基板颗粒快速检测技术的研究  CNKI文献

为了检测光刻机掩模板或玻璃基板表面的杂质颗粒,结合米氏散射理论与暗场检测原理,通过杂质颗粒在固定空间角的散射光能量来标定颗粒的数目与尺寸。以激光整形光路形成均匀性良好的线型激光对样品表面进行照明,在非反...

蓝科 刘逍... 《科技创新与应用》 2021年18期 期刊

关键词: 颗粒检测技术 / 暗场检测 / 米氏散射 / 掩模板

下载(64)| 被引(0)

沟槽晶圆调焦调平测量工艺适应性分析  CNKI文献

沟槽晶圆为后道封装光刻工艺中常见的一类待检测晶圆,其上表面具有结构复杂的纵横沟槽,且导致沟槽边缘的光刻胶分布不均匀,增加了光学调焦调平传感器(FLS)垂向位置测量的工艺复杂度。本文详细介绍了基于线阵CCD的FLS测...

蓝科 陈雪影... 《中国设备工程》 2021年13期 期刊

关键词: 光刻机 / 调焦调平传感器(FLS) / 沟槽晶圆 / 工艺适应性

下载(54)| 被引(1)

一种大数据智能分析平台的数据分析方法及实现技术  CNKI文献

文章介绍了一种用于大数据智能分析平台的数据分析方法及实现技术,介绍了这种方法的需求和意义;和该方法的总体架构,以及在数据传输、数据清洗和数据分析的实现;概述了这种技术高并发、大数据量的优化措施和跨平台的实...

蓝科 李婧 《数字技术与应用》 2017年03期 期刊

关键词: 大数据 / 数据分析 / 数据挖掘

下载(207)| 被引(8)

一种高并发跨平台的企业移动IM即时通讯工具  CNKI文献

文章介绍了一种高并发跨平台的企业移动IM即时通讯工具,介绍了这种工具的需求和意义;和该工具的总体架构,以及在文件传输、集成和安全方面的设计;概述了这种工具高并发的优化措施和跨平台的实现。

蓝科 周普 《电子技术与软件工程》 2015年24期 期刊

关键词: 高并发跨平台 / 企业移动IM

下载(166)| 被引(2)

单光束互相关法测量高浓度纳米颗粒粒径  CNKI文献

针对光子相关光谱法不能测量高浓度纳米颗粒粒径和双光束互相关测量法装置结构过于复杂等问题,提出了一种基于范西特-泽尼克定理的单光束互相关法。首先分析了传统双光束互相关法存在的问题,然后根据范西特-泽尼克定理...

蓝科 杨晖... 《光学技术》 2010年06期 期刊

关键词: 互相关 / 动态光散射 / 颗粒测量

下载(125)| 被引(2)

一种可配置的可视化流程的设计  CNKI文献

介绍了一种可配置的可视化流程的设计,介绍了流程的定义、数据库设计、传输层格式、前端展示原理以及该模块在业务中的应用。

蓝科 全锦琪... 《信息通信》 2015年07期 期刊

关键词: 可视化 / 工作流 / 可视化流程

下载(48)| 被引(4)

网闸数据交换程序的实践与分析  CNKI文献

本文从网闸的数据交换原理入手,介绍在网闸两端进行数据交换程序的开发原理和部署特点,从理论和应用出发,浅析了数据交换程序的实践与分析。

蓝科 杨家均 《无线互联科技》 2013年01期 期刊

关键词: 网闸 / 数据交换 / 服务接口

下载(59)| 被引(3)

硅片键合套刻偏差测量技术  CNKI文献

硅片键合套刻偏差是影响三维垂向互连封装工艺的重要指标之一。利用红外光可以高效穿透硅基半导体材料的特性,设计了测量键合套刻偏差的红外检测系统。通过测试光源和相机得到的噪声大小和分布作为仿真误差来源;通过M...

李运锋 蓝科 《光学仪器》 2021年05期 期刊

关键词: 硅片键合套刻偏差 / 红外技术 / 套刻标记 / 套刻偏差

下载(124)| 被引(1)

基于波长积分双色法的小视场快速温度场测量  CNKI文献

激光退火技术有热预算低、瞬间温度高的特点,其温度场特性是材料电学性能的重要表征参数。准确实时测量瞬态小温度场对整体退火工艺过程的把控具有重要的参考价值。辐射测温法通过收集样品辐射光谱中特定波段的能量来...

李运锋 黄元昊... 《光学仪器》 2022年02期 期刊

关键词: 辐射测温 / 激光退火 / 红外探测

下载(80)| 被引(0)

一种轻量级工作流引擎的研究与设计  CNKI文献

工作流引擎是工作流系统的核心。根据WfMC工作流参考模型,在分析工作流引擎主要功能的基础上,设计工作流引擎的各个功能模块,以XPDL作为流程定义语言,采用Java技术,实现工作流引擎的基本功能和特征。工作流引擎不依赖...

蔡孝武 韩永国... 《计算机工程》 2010年20期 期刊

关键词: 工作流 / 工作流引擎 / 轻量级

下载(373)| 被引(63)

衍射散射式颗粒粒度测量法的研究新进展  CNKI文献

介绍了衍射散射式颗粒粒度测量法的基本光路结构和理论模型,讨论了决定其性能优劣的重要指标——测量下限,对影响测量下限向小粒径范围延伸的参数进行了分析。继而介绍了近年来国内外主要粒度仪品牌在光学结构和散射理...

杨依枫 杨晖... 《光学技术》 2011年01期 期刊

关键词: 颗粒测量 / 激光衍射 / Mie散射

下载(549)| 被引(22)

基于收敛性分析的遗传算法改进方向研究  CNKI文献

介绍遗传算法在收敛性方面的重要结论及其重要的分析模型,并以此作为理论依据,分别从编码、策略、遗传算子及参数控制4个方面分析遗传算法在收敛性方面的改进方法,指出遗传算法未来应着重研究的方向。

杨林翔 蓝科 《硅谷》 2009年20期 期刊

关键词: 遗传算法 / 收敛性 / Markov链 / 改进方向

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南京:劣质插座藏杀机  CNKI文献

本报讯 在老百姓眼中无关紧要的小小插座,如果存在质量隐患,就有可能造成严重的后果。轻则毁坏家用电器,重则酿成触电、火灾等大祸。南京质检部门发现,很多质量不合格的小企业如果被抽检,企业便会停止生产黑名单...

陈郁 蓝科 中华建筑报 2004/03/26 报纸

关键词: 插座 / 电气装置件 / 南京 / 江苏

下载(3)| 被引(0)

基于偏振门的动态光散射颗粒测量法的研究  CNKI文献

为了解决动态光散射纳米颗粒测量技术无法测量高浓度颗粒粒径的难题,提出了一种基于偏振门的动态光散射测量法。从动态光散射和Mie理论出发,理论分析了在高浓度溶液下多重散射效应对散射光偏振态和颗粒粒度测量结果的...

杨晖 郑刚... 《光学技术》 2010年03期 期刊

关键词: 光学测量 / 纳米颗粒测量 / 动态光散射 / 偏振光

下载(312)| 被引(7)

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