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Microwave annealing effects on ZnO films deposited by ...  CNKI文献

Zinc oxide thin films deposited on glass substrate at 150°C by atomic layer deposition were annealed by the microwave method at temperatures below 500 °C.The microwave annealing effects on ...

赵士瑞 董亚斌... 《Journal of Semiconductors》 2014年11期 期刊

关键词: ZnO / microwave / annealing

下载(39)| 被引(2)

马克思主义哲学中的事物发展观与物质观  CNKI文献

一 $$  马克思主义哲学事物观,在总结人类长期实践的经验中,得出如下几项带普遍性的客观真理: $$  第一,它的客观性。任何事物的产生、发展、灭亡(即转化),都不依人的主观意志为转移,人们只能按照客观规律...

赵士瑞 学习时报 2005-10-10 报纸

关键词: 马克思主义哲学 / 历史唯物主义 / 物质观 / 发展观

下载(67)| 被引(0)

A method to restrain the charging effect on an insulat...  CNKI文献

Pattern distortions caused by the charging effect should be reduced while using the electron beam lithography process on an insulating substrate. We have developed a novel process by using the SX AR-...

于明岩 赵士瑞... 《Journal of Semiconductors》 2014年12期 期刊

关键词: charging / effect / pattern / distortions

下载(63)| 被引(0)

应用微波技术抑制光刻胶图形的坍塌与黏连  CNKI文献

针对显影工艺中水的表面张力导致的高高宽比抗蚀剂图形的坍塌及黏连,提出了一种基于微波加热的干燥技术来有效改善纳米抗蚀剂图形的干燥效果。该方法利用微波穿透光刻胶结构直接加热光刻胶图形间隙中残存的去离子水,水...

于明岩 施云波... 《光学精密工程》 2015年01期 期刊

关键词: 电子束光刻 / 光刻胶图形 / 坍塌 / 黏连

下载(237)| 被引(4)

原子层沉积技术及其创新运用  CNKI文献

本文分析并总结了涉及原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)技术基本原理的若干问题.介绍了等离子增强原子层沉积(plasma enhanced atomic layer deposition,PEALD)技术的优势及常见运用.相对于传统ALD系统,PEALD...

施云波 于明岩... 《纳米技术与精密工程》 2014年05期 期刊

关键词: 原子层沉积 / 等离子体增强型原子层沉积 / 原位掺杂 / TiO2-xNx

下载(602)| 被引(3)

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