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石英音叉陀螺机械及静电耦合误差的消除  CNKI文献

为了消除石英音叉陀螺中音叉不对称产生的机械耦合误差及驱动电极与拾取电极间分布电容引入的静电耦合误差,分别采用了质量平衡调节消除机械耦合误差及设计补偿电路消除静电耦合误差的方法.实验结果表明,该方法基本消...

路文一 崔芳... 《北京理工大学学报》 2009年05期 期刊

关键词: 石英音叉陀螺 / 机械耦合 / 静电耦合

下载(161)| 被引(3)

石英音叉陀螺芯片工艺误差的影响分析  CNKI文献

加工高质量的石英音叉需要解决工艺误差导致的机械耦合误差及频率漂移等问题。使用测量显微镜对石英音叉驱动叉指的长度和宽度在主要工艺过程中的变化进行了测量,其中以石英音叉化学腐蚀引入的尺寸误差较大。采用有限...

路文一 崔芳... 《微细加工技术》 2008年05期 期刊

关键词: 石英音叉 / 化学腐蚀 / 工艺误差 / 有限元法

下载(150)| 被引(2)

石英音叉陀螺音叉封装问题研究  CNKI文献

封装是石英音叉陀螺的关键工艺,封装管壳的选择、封装方式及石英音叉的固定形式对音叉的性能有直接影响。封装管壳的有限元仿真分析,可以作为封装管壳选取的依据。采用单点固定封装方式有利于石英音叉工作性能的稳定。...

路文一 崔芳... 《光学技术》 2009年03期 期刊

关键词: 石英音叉 / 陀螺 / 封装 / 有限元法

下载(143)| 被引(2)

石英音叉陀螺阻抗特性的实验研究  CNKI文献

为改善石英音叉的质量,提高陀螺性能,采用了质量平衡调节叉指对称性的方法改善音叉阻抗特性,测试了阻抗特性对音叉驱动及机械耦合误差的影响.实验结果表明,通过对驱动叉指的对称性进行质量平衡调节,驱动叉指的品质因数...

路文一 崔芳... 《北京理工大学学报》 2009年07期 期刊

关键词: 石英音叉 / 阻抗特性 / 陀螺

下载(101)| 被引(0)

MEMS倾角传感器研究现状及发展趋势  CNKI文献

概述了微电子机械系统(MEMS)倾角传感器的工作原理,对MEMS倾角传感器进行分类归纳,主要分为电容式、谐振式、热对流式和光学式等,对上述MEMS倾角传感器的敏感机理、技术特点、关键技术及性能进行详尽的阐述。目前电容...

高旗 陈青松... 《微纳电子技术》 2021年12期 期刊

关键词: 微电子机械系统(MEMS) / 倾角传感器 / 敏感机理 / 精度

下载(906)| 被引(0)

一体式石英振梁加速度计工程化研究进展  CNKI文献

一体式石英振梁加速度计是一种高精度谐振式MEMS惯性传感器。针对现有石英振梁加速度计存在的体积大、全温及力学环境适应性不足等问题,提出一种基于三层石英结构的一体式石英振梁加速度计的设计方案。通过突破高精度...

杨挺 刘平... 《遥测遥控》 2019年02期 期刊

关键词: 石英振梁加速度计 / 晶圆级键合 / 全温稳定性 / 振动整流误差

下载(138)| 被引(5)

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