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VO_x薄膜的制备、电阻-温度特性及结构研究  CNKI文献

VO_2是一种热致相变材料。发生相变时,VO_2的电阻、红外光透过率、反射率都会发生显著变化。采用直流反应磁控溅射法,通过改变氧氩比(O_2:Ar)、工作气压、衬底温度等制备工艺参数,研究了工艺参数对VO_x薄膜的结构、电...

邵林飞 李合琴... 《红外》 2009年11期 期刊

关键词: VO_2薄膜 / 直流反应磁控溅射 / 沉积条件 / 电阻突变

下载(91)| 被引(8)

掺杂VO_x薄膜制备及其性能研究  CNKI文献

VO2是一种具有广泛用途的热致相变材料,在68℃时发生半导体-金属相变,由低温单斜结构变为高温四方金红石结构,并伴随发生光、电、磁等性能的可逆性突变。 第一章简要介绍了VO2的晶体结构及类型,VOk薄膜的应用以及...

邵林飞 导师:李合琴 合肥工业大学 2010-04-01 硕士论文

关键词: VO_x薄膜 / 磁控溅射 / VO_x/TiO_x双层膜 / 钨掺杂

下载(136)| 被引(0)

退火对Al_2O_3薄膜结构和发光性能的影响  CNKI文献

氧化铝(Al_2O_3)薄膜具有许多优良的物理化学性能,在机械、光学及微电子等高科技领域有着广泛应用,一直受到人们的高度关注。但Al_2O_3具有多种物相形态,性质差别很大。因此研究不同结构对其发光性能的影响在Al_2O_3实...

范文宾 李合琴... 《红外》 2009年11期 期刊

关键词: Al_2O_3薄膜 / 光致发光光谱 / 射频磁控溅射 / 红移

下载(248)| 被引(11)

奥氏体不锈钢表面硬质薄膜的制备与性能研究  CNKI文献

用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上分别制备了TiN薄膜和Al_2O_3薄膜,并用XRD、SEM和显微硬度等测试手段对沉积态和退火态薄膜进行表征,分析了不同工艺参数对薄膜的沉积速率、结构和性能的影响,从而得到最佳工艺参数。...

范文宾 李合琴... 《真空与低温》 2009年04期 期刊

关键词: 奥氏体不锈钢 / 磁控溅射 / 氮化钛薄膜 / 氧化铝薄膜

下载(114)| 被引(1)

耐热钢表面SiC薄膜的制备与性能  CNKI文献

SiC是优秀的高温材料,它在高温时首先与氧反应形成致密的SiO_2钝化膜,阻止了SiC的继续氧化,因此具有高温抗氧化性和高温强度、硬度高耐磨性好、热膨胀系数小、热导率大、优良的抗热震和耐化学腐蚀等特性,已在许多高技...

李合琴 范文宾... 第四届全国反应堆物理与核材料学术研讨会论文集 2009-11-23 中国会议

关键词: 中国低活化马氏体钢 / 奥氏体不锈钢 / 耐热钢 / 制备与性能

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