基于ZnO压电薄膜的弯曲振动硅微压电超声换能器的研究 CNKI文献
对所研制的硅微压电超声换能器(PMUT)的振动特性进行了研究分析。对硅微压电超声换能的振动膜薄板的厚度相对于薄板的尺度(边长)而言较薄的情况,理论分析与实验结果均表明残余应力对换能器的谐振频率影响较大:不考虑残...
介绍了一种用ZnO薄膜作为压电层的硅微压电式超声换能器(PMUT).该硅微压电换能器的振动基膜采用LPCVD制作的氮化硅薄膜和PECVD制作的二氧化硅形成的复合振动膜结构.文中运用有限元方法对该硅微压电换能器的结构进行了...
从Mason等效电路模型出发,研究了基于薄膜体声波谐振器的梯形结构射频滤波器的设计。以往的研究中都没有考虑到介质的声损耗,这样得到的滤波器频响中就未计入插入损耗的影响。采用射频网络方法对薄膜体声波谐振器建模...
薄膜体声波谐振器(FBAR)谐振特性的模拟分析 CNKI文献
主要利用Mason等效电路模型对加入介质声损耗的薄膜体声波谐振器输入阻抗公式进行了推导,并利用该结果对薄膜体声波谐振器的谐振特性进行了模拟分析,分别就不同压电层材料和厚度以及不同电极材料和厚度对薄膜体声波谐...
汤亮 郝震宏... 《传感技术学报》 2006年05期 期刊
关键词： 薄膜体声波谐振器(FBAR) / Mason等效电路模型 / 微波振荡器 / 双工器
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提出了基于ZnO压电薄膜多层结构的2.4GHz射频薄膜体声波谐振器,并进行了研究。采用修正后的Mason等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟。给出了采用MEMS工艺制备器件的工艺流程,并利用射频网络分析仪对实验器...
采用射频网络法分析了ZnO薄膜体声波谐振器的谐振特性,并考虑了介质声损耗对品质因数Q值的影响。采用硅体刻蚀工艺在硅基片上制备了以ZnO薄膜为压电膜的薄膜体声波谐振器,并对器件的性能进行了测试。将实验与理论分析...
介绍了一种薄膜体声波谐振器和它的制备流程。该谐振器采用氧化锌压电薄膜作为压电材料,通过从硅片背部体刻蚀硅衬底的方法得到谐振器的支持层。为了避免残余应力引起的支持层起皱现象,采用氮化硅/二氧化硅/氮化硅复合...
MEMS 水听器由于其体积小、重量轻、可集成化的特点,可应用于水下分布式传感网和声纳基阵。本文将报道用 MENS 技术制备的硅微压电水听器,它是由压电薄膜和非压电弹性膜所构成交合层状形成弯曲振动换能器,压电薄膜采用...
本文运用有限元方法计算了硅微电容式超声换能器(cMUT)的谐振频率,并考虑了实际换能器振动膜制备有电极薄膜的情况,分别计算了具有不同厚度的金电极和铝电极的振动膜的谐振频率,分析了电极对于谐振频率的影响,对cMUT的...
郝震宏 汤亮... 2009’中国西部地区声学学术交流会论文集 2009-07-01 中国会议
关键词： 硅微电容式超声换能器 / 谐振频率 / 有限元方法
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硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz~18kHz的范围内的频率响应也较平坦.
本文运用有限元方法计算了硅微电容式超声换能器(cMUT)的谐振频率,并考虑了实际换能器工作需要施加直流偏置电压的情况,分别计算了有偏置电压时不同厚度振动膜的谐振频率,分析偏置电压对硅微电容超声换能器谐振频率的...
郝震宏 汤亮... 2010’中国西部声学学术交流会论文集 2010-08-01 中国会议
关键词： 硅微电容式超声换能器 / 谐振频率 / 偏置电压
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采用射频磁控溅射法制备了ZnO压电薄膜,并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器进行性能验证。X射线衍射结果显示ZnO压电薄膜C轴择优取向明显,衍射峰半高宽为0.18°,显示出较好的结晶质量。高次...
首先推导出了加入材料介质声损耗的一维Mason模型,并利用该模型分析了支持层结构对FBAR器件谐振特性的影响,包括不同支持层材料及厚度对FBAR器件性能的影响。相对于二氧化硅薄膜而言,氮化硅薄膜更适合于作为FBAR器件的...
本文介绍了一种MEMS压电式超声换能器(PMUT)的制作方法,该换能器可以用于空气中的超声测距、超声定位等领域。MEMS压电超声换能器的振动膜支撑层为氮化硅薄膜,ZnO薄膜为压电层。运用有限元方法计算了MEMS压电超声换能...
本文对薄膜体声波谐振器进行了建模,尤其是在模型中考虑了材料的声损耗和压电膜介电损耗,从制备的高次谐波体声波谐振器电学测试结果中提取出尺寸为5×10~(-8)m~2×2μm的氧化辞压电薄膜介电损耗电阻在87OMHz...
汤亮 汪承灏... 2007’促进西部发展声学学术交流会论文集 2007-09-01 中国会议
关键词： 薄膜体声波谐振器 / 高次谐波体声波谐振器 / 微波振荡器 / 射频滤波器
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在硅基上制备了谐振频率约为2.4GHz 的薄膜体声波谐振器,谊谐振器在串联谐振频率处的 Q 值为 500.3,在并联谐振频率处的 Q 值为425.5。基于该 FBAR 器件,设计了一种低相噪射频振荡器,该振荡器的振荡频率为2.374GHz,输...
本文介绍了一种基于圆形振动膜结构的硅微压电超声换能器的设计与制造.该传感器的振动膜直径为 500μm,氮化硅薄膜厚度约为1μm,ZnO 压电薄膜厚度为0.7μm,传感器的中心频率设计为100 KHz.本文运用有限元方法分别模拟...
1．引言超声成像是目前超声学中最活跃分支。现在常用的超声B扫描成像(俗称B超)已成为医学上一个很重要的诊断方法。B超是用一维阵列实现二维成像。而目前超声成像与其它成像方法一样,正在向三维立体成像方向发展,超声...
1引言换能器接收电路的首要任务是将从换能器接收到的回波信号进行电压放大,提高换能器的负载能力,以利于后续的信号处理,如A/D转换和数字信号处理。新型MEMS换能器具有高阻抗、低电
