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金刚石膜的性质、应用及国内外研究现状  CNKI文献

重点介绍了金刚石膜的性质、应用领域及目前国内外研究现状。

顾长志 金曾孙 《功能材料》 1997年03期 期刊

关键词: 金刚石膜 / 性质 / 应用 / 研究现状

下载(891)| 被引(142)

微纳米加工技术在纳米物理与器件研究中的应用  CNKI文献

物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料不同的物理特性,这正是纳米科技发展的基础之一.要想探索在纳米尺度下材料物理性质的变化规律及可能的应用领域,离不开相应的技术手段.微纳米加工技术作为当今高技术发展的重要技术...

顾长志 罗强... 《物理》 2006年01期 期刊

关键词: 微纳米加工技术 / 人工纳米结构 / 纳米物理与器件

下载(1191)| 被引(22)

高导热金刚石薄膜的研究  CNKI文献

分析了影响金刚石膜热导率的主要因素,指出声子的散射是造成金刚石膜热导率降低的主要原因.采用光热偏转法实现了金刚石薄膜热导率的测试,测量误差小于5%,从减少杂质和晶界对导热声子的散射入手,研究了在不同的...

顾长志 金曾孙... 《物理学报》 1997年10期 期刊

关键词: 金刚石膜 / 制备方法 / 微波等离子体 / 导热系数

下载(327)| 被引(18)

多壁碳纳米管中的多通道弹道输运特性  CNKI文献

借助于扫描电子显微镜中可移动金属探针的测量系统,实现了探针电极与W衬底上生长的单根多壁碳纳米管一端的完美接触.研究了单根多壁碳纳米管室温下的电输运特性,发现多壁碳纳米管具有非常高的电流承载能力.对于直径10...

顾长志 吕文刚... 《物理》 2005年12期 期刊

关键词: 多壁碳纳米管 / 欧姆接触 / 多通道 / 弹道输运

下载(415)| 被引(8)

磁性金属纳米结构的畴壁特性与磁逻辑电路构筑  CNKI文献

自旋电子学由于其丰富的物理内涵和广泛的应用前景受到学术界和工业界的高度重视,成为近年来凝聚态物理和信息技术领域关注的焦点。本文介绍了利用磁性金属纳米结构实现作为自旋电子器件基础的自旋注入的方法,特别涉及...

顾长志 徐鹏... 《物理学进展》 2011年03期 期刊

关键词: 纳米点接触结构 / 磁畴壁 / 自旋电子输运 / 磁逻辑电路

下载(202)| 被引(1)

Unique electrical properties of nanostructured diamond...  CNKI文献

The preparation and electrical properties of diamond nanocones are reviewed, including a maskless etching process and mechanism of large-area diamond conical nanostructure arrays using a hot filament...

顾长志 王强... 《Chinese Physics B》 2013年09期 期刊

关键词: diamond / nanocone / quantum / device

下载(27)| 被引(1)

使用金刚石膜热沉的半导体激光器特性研究  CNKI文献

比较了使用金刚石膜热沉和传统的钢热沉的半导体激光二极管列阵在热阻和光输出功率方面的特性.与使用Cu热沉的器件相比,采用厚度为350~400μm,热导率在12~14W/(K·cm)的金刚石膜作为热沉的H极管列阵可使热...

顾长志 金曾孙... 《半导体学报》 1997年11期 期刊

关键词: 金刚石膜 / 半导体激光器 / 特性研究

下载(137)| 被引(20)

激光修饰金刚石膜的表面抛光技术  CNKI文献

化学气相沉积(CVD)金刚石为多晶材料,其表面多为杂乱分布晶粒的堆积,尤其是金刚石厚膜,其表面堆积的大晶粒显露出明显的棱角,表面相当粗糙.而金刚石膜在电子学等领域的应用要求其表面具有较好的光洁度,以便形成良好的...

顾长志 金曾孙... 《科学通报》 1997年06期 期刊

关键词: 金刚石膜 / 激光修饰 / 表面抛光

下载(121)| 被引(16)

LB膜气体传感器的发展概况  CNKI文献

LB膜在走向人工设计智能型分子的过程中,被认为有可能首先在传感器领域取得应用的突破。就LB膜气体传感器目前国内外的发展情况,介绍了几种具有气敏特性的LB膜元件,并对今后的发展方向提出了几点建议。

顾长志 孙良彦 《传感器技术》 1992年04期 期刊

关键词: LB膜 / 气体传感器

下载(110)| 被引(16)

微波等离子体CVD方法制备金刚石薄膜  CNKI文献

采用微波等离子体化学气相沉积方法分别在CH4/H2,CO/H2和(CH4+CO)/H2气体体系下合成了金刚石薄膜.结果表明,所合成的金刚石薄膜具有明显的柱状生长特性和较高的品质,(CH4+CO)/H2体系合成的金刚石薄膜具...

顾长志 金曾孙... 《吉林大学自然科学学报》 1997年03期 期刊

关键词: 金刚石薄膜 / 微波等离子体化学气相沉积方法 / 生长特性

下载(214)| 被引(5)

金刚石膜的厚度及背表面过渡层对热导率的影响  CNKI文献

采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法制备金刚石膜,研究了金刚石膜的厚度以及生长初期的SiC过渡层对其热导率的影响,给出了膜厚和背表面SiC过渡层减薄厚度与金刚石膜热导率的关系

顾长志 金曾孙... 《高压物理学报》 1997年01期 期刊

关键词: 金刚石膜 / 热导率 / 膜厚 / 背表面过渡层

下载(120)| 被引(5)

微波方法制备(100)晶面取向的金刚石薄膜  CNKI文献

采用MWPCVD制备金刚石膜的方法 ,以甲烷和一氧化碳为碳源气体 ,在适当的衬底温度与反应气体配比条件下 ,通过使衬底匀速转动 ,合成出具有 (10 0 )晶面取向的均匀生长的金刚石薄膜 ,在优化的工艺条件下这种定向金刚石膜...

顾长志 金曾孙... 《科学通报》 1998年06期 期刊

关键词: 金刚石膜 / 定向生长 / MWPCVD / (100)取向

下载(118)| 被引(4)

一种新型结构的LB膜化学场效应晶体管的气敏特性研究  CNKI文献

合成了新型的有机半导体LB膜气敏材料(COTDMAPP),其LB多层膜拉制在场效应晶体管上,形成了具有LB-OSFET结构的化学场效应晶体管(ChernFET),该器件置于NO2,NH3,CO和H2S...

顾长志 孙良彦... 《半导体学报》 1994年04期 期刊

关键词: 场效应晶体管 / 多层膜 / 气敏特性 / 气敏材料

下载(96)| 被引(6)

金刚石膜的热导率特性研究  CNKI文献

金刚石由于具有高硬度、高热导率、高红外透过率和优异的半导体特性,在高技术和未来的工业领域有广泛的应用前景.尤其是它的高热导率特性是最吸引人的一个研究领域,因为用金刚石制作的大功率半导体器件及微波器件的热...

顾长志 王春蕾... 《科学通报》 1994年07期 期刊

关键词: 热导率 / 金刚石膜 / EACVD

下载(195)| 被引(3)

Nd: YAG激光器切割金刚石膜的特性研究  CNKI文献

采用NdYAG激光器对金刚石膜进行切割,研究了激光器在不同输出功率下切割金刚石膜的速率和切割深度与时间的关系,以及NdYAG激光器切割的金刚石膜在成份和形状上的变化特点,给出了比较理想的切割工艺条件。

顾长志 金曾孙... 《光学学报》 1997年10期 期刊

关键词: Nd / YAG激光器 / 金刚石膜 / 切割

下载(123)| 被引(4)

金刚石膜内晶粒尺寸和取向对其热导率的影响  CNKI文献

研究了金刚石膜内晶粒尺寸和取向程度对金刚石膜然导率的影响。通过对衬底表面进行不同研磨时间的处理和适当的工艺条件,采用灯丝热解化学气相沉积(HFCVD)的方法在单晶硅衬底上形成了具有不同晶粒尺寸和不同程度(...

顾长志 金曾孙... 《高技术通讯》 1997年09期 期刊

关键词: Diamond / film / Thermal / conductivity

下载(128)| 被引(2)

晶粒尺寸和取向对金刚石膜热导率的影响  CNKI文献

金刚石的热导率是所有物质中最高的,金刚石薄膜由于其较低的制作成本和较大的生长面积,使得它作为大功率电子器件的散热材料而具有广泛的应用前景。但是由于采用CVD方法制备的金刚石薄膜为多晶结构,膜内存在大量...

顾长志 金曾孙... 《人工晶体学报》 1997年Z1期 期刊

关键词: CVD法 / 金刚石膜 / 热导率

下载(276)| 被引(3)

电子增强化学气相沉积法制备金刚石膜  CNKI文献

采用EACVD方法在Si衬底上制备出生长速率高的优质金刚石膜,其生长速率最大可达7μm/h,成膜范围φ40mm,并对优质金刚石膜的生长特性进行了研究。

顾长志 王春蕾... 《高压物理学报》 1994年03期 期刊

关键词: 电子增强 / 化学气相沉积 / 金刚石膜

下载(50)| 被引(4)

金刚石薄膜热敏器件特性  CNKI文献

本文采用热丝CVD方法和在以石英为衬底的金属钛梳状微电极上制备出的均匀致密、结晶完整的金刚石薄膜,制成了金刚石薄膜热敏器件.对其热敏特性的测试结果表明,该热敏元件具有检测温度范围宽、响应快、灵敏度高、...

顾长志 金曾孙... 《吉林大学自然科学学报》 1994年02期 期刊

关键词: 金刚石薄膜 / 热丝CVD / 热敏元件 / 热敏特性

下载(69)| 被引(3)

CMOS/SOD电路的高温工作特性  CNKI文献

采用具有高导热、高绝缘等优异物理性能的金刚石膜作为绝缘理层,利用金刚石膜上的薄层硅(SOD)技术,制作了54HCTO3CMOS/SOD结构的集成电路.对该电路高温下的工作特性进行了研究.结果表明SOD电路在350℃下仍具有...

顾长志 金曾孙... 《半导体学报》 1997年09期 期刊

关键词: 体硅电路 / 工作温度 / 高温下 / CMOS/SOD

下载(51)| 被引(1)

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