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不同磁芯材料在微电感中的应用  CNKI文献

叙述了坡莫合金,铁氧体和非晶、纳米晶软磁等材料用作微电感磁芯的磁性材料的特性及其对微电感性能的影响,如电感量和Q值。并介绍了螺线管型微电感的制作工艺过程。

高孝裕 周勇... 《半导体技术》 2005年10期 期刊

关键词: 磁芯材料 / 微电感 / 电感量 / Q值

下载(486)| 被引(20)

磁性薄膜微电感器件的研究进展  CNKI文献

综述了磁性薄膜微电感的研究现状,介绍了四种不同电感器件的结构设计(平面螺旋型,磁芯螺线管,曲折结构及夹心条状结构)及其优缺点和磁芯材料(坡莫合金,铁氧体,非晶,纳米晶软磁)对电感器件的影响。

高孝裕 陈吉安... 《电子元件与材料》 2005年04期 期刊

关键词: 电子技术 / 磁性薄膜 / 综述 / 微电感

下载(544)| 被引(10)

MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺研究  CNKI文献

采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等。研制的微电感大小为1500μm×900μm×100μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高...

高孝裕 周勇... 《固体电子学研究与进展》 2005年04期 期刊

关键词: 微电感 / 电感量 / 品质因子 / 微机电系统

下载(199)| 被引(5)

采用MEMS技术制作的螺线管电感(英文)  CNKI文献

采用微机电系统技术制作了螺线管电感.为了获得高电感量和Q值,采用UV-LIGA、干法刻蚀、抛光和电镀技术,研制的电感大小为1500μm×900μm×70μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高深宽比...

高孝裕 周勇... 《半导体学报》 2005年06期 期刊

关键词: 电感量 / 微机电系统 / 品质因子

下载(157)| 被引(5)

G2.5高分辨率TFT扫描投影曝光机  CNKI文献

高分辨率TFT曝光技术随着第三代显示技术--AMOLED显示技术和高PPI显示技术的发展,已经成为平板显示的最关键技术之一,实现高分辨曝光的TFT曝光机也是ARRAY段最核心设备。介绍了可用于G2.5代TFT玻璃基板制造的高分辨率...

周畅 高孝裕... 《电子工业专用设备》 2015年11期 期刊

关键词: 主动有机发光二极管(AMOLED)显示 / 分辨率 / 曝光机 / 关键尺寸(CD)

下载(166)| 被引(4)

夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应的研究  CNKI文献

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜,在100KHz-40MHz范围内研究了FeNi/Cu/FeNi多层膜中的巨磁阻抗效应特性。当磁场Hext施加在薄膜的长方向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一磁场下达...

商干兵 高孝裕... 《信息记录材料》 2005年04期 期刊

关键词: 巨磁阻抗效应 / 夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜 / MEMS技术

下载(115)| 被引(0)

柔性显示器件机械试验方法研究  CNKI文献

介绍了柔性显示器件的机械标准试验方法国际标准的研制进展,并通过弯折试验对附着在柔性衬底上的TFT器件的金属导线进行了力学可靠性研究。研究表明,金属导线的力学可靠性具有明显的尺寸依赖性和形状依赖性,通过有限元...

刘艳玲 胡坤... 《信息技术与标准化》 2017年06期 期刊

关键词: 柔性显示 / 国际标准 / 机械试验方法 / 金属导线

下载(231)| 被引(5)

柔性显示器件国际标准研制进展  CNKI文献

围绕柔性显示的标准化进程,介绍了柔性显示器件国际和国内标准的研制进展情况,及我国主导的环境试验方法的立项和研制进展,分析了该标准制定过程中的最大难点,即如何在环境试验中体现"柔性",并对未来柔性显...

谢静 刘嵩... 《信息技术与标准化》 2014年08期 期刊

关键词: 柔性显示 / 国际标准 / 环境试验方法 / IEC/TC110

下载(133)| 被引(6)

薄膜厚度对多层膜巨磁阻抗效应的影响研究  CNKI文献

采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备了FesiB/cu/FesiB多层膜,在100kHz~40MHz范围内研究了FesiB薄膜厚度对FesiB/Cu/FesiB多层膜巨磁阻抗效应的影响。当磁场施加在薄膜的纵向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一...

周勇 丁文... 《功能材料与器件学报》 2004年02期 期刊

关键词: 巨磁阻抗效应 / 非晶FeSiB薄膜 / FeSiB/Cu/FeSiB多层膜 / 薄膜厚度

下载(292)| 被引(6)

FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究  CNKI文献

研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz~40MHz范围内的巨磁阻抗效应。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随磁场的增大而下降到负值。在频率3MHz、磁...

周勇 丁文... 《磁性材料及器件》 2004年01期 期刊

关键词: FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜 / 巨磁阻抗效应 / 磁各向异性

下载(115)| 被引(7)

三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应研究  CNKI文献

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了三明治结构FeN i/Cu/FeN i多层膜,在1~40 MHz范围内研究了FeN i/Cu/FeN i多层膜中的巨磁阻抗效应特性。当磁场Ha施加在薄膜的长方向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一磁场下达...

周勇 丁文... 《功能材料与器件学报》 2006年03期 期刊

关键词: 巨磁阻抗效应 / 三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜 / MEMS技术

下载(151)| 被引(2)

微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究  CNKI文献

采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了镍(Ni)膜微桥结构试样,应用陶瓷压条为承力单元,与纳米压痕仪XP系统的Berkovich三棱锥压头相结合,解决了较宽Ni膜微桥加载问题。测量了微桥载荷与位移的关系,并结合...

周勇 王明军... 《现代科学仪器》 2004年04期 期刊

关键词: Ni膜微桥 / MEMS技术 / 力学性能

下载(201)| 被引(2)

FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究  CNKI文献

研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz-40MHz范围内的巨磁阻抗效应(其大小用磁阻抗比表示)。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随磁场的增大而下降到...

周勇 陈吉安... 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集 2005-01-01 中国会议

关键词: FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜 / 巨磁阻抗效应 / 磁各向异性

下载(30)| 被引(0)

微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量  CNKI文献

利用MEMS技术制作了不同尺寸的镍(Ni)膜微桥结构样品。采用纳米压痕仪XP系统测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量和残余应力。结果表明,两种不同尺寸的Ni膜的弹性模...

王明军 周勇... 《电子元件与材料》 2004年12期 期刊

关键词: 材料测量与分析技术 / 镍膜微桥 / MEMS技术 / 弹性模量

下载(222)| 被引(0)

Multi-try Counter-meshing Gears Discrimination Device ...  CNKI文献

A multi-try counter-meshing gears (CMG) discrimination device based on micro electromechani-cal system (MEMS) technology was designed for some specified information fields. The discrimination device ...

李胜勇 陈文元... 《Journal of Shanghai Jiaotong University(Science)》 2008年03期 期刊

关键词: multi-try / counter-meshing / gears / discrimination

下载(54)| 被引(2)

FeCuNbCrSiB薄膜的制备及其巨磁阻抗效应研究  CNKI文献

采用磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了非晶的Fe73.5Cu1Nb3Cr0.5Si13B9薄膜及三明治结构M/C/M(M为Fe73.5Cu1Nb3Cr0.5Si13B9;C为Cu)的多层膜。在频率(1~40)MHz下,研究了薄膜材料的巨磁阻抗(GMI)效应随外加磁场的变化关系...

张亚民 陈吉安... 《电子元件与材料》 2005年05期 期刊

关键词: 电子技术 / 巨磁阻抗效应 / FeCuNbCrSiB / 三明治薄膜

下载(140)| 被引(1)

曲折形三层等宽FeCuNbSiB/Cu/FeCuNbSiB多层膜巨磁阻抗效应...  CNKI文献

采用磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了曲折形三层等宽FeCuNbSiB/Cu/FeCuNbSiB多层膜。在1~40MHz下,研究了多层膜材料的巨磁阻抗(GMI)效应随外加磁场的变化关系。结果表明:在频率为5MHz、磁场强度为12kA/m下,横向和纵向...

余先育 曹莹... 《电子元件与材料》 2006年01期 期刊

Cu层宽度对弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多...  CNKI文献

基于MEMS微细加工工艺,利用磁控溅射方法在Si基片上制备了不同Cu层宽度弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1~40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的应力阻抗效应的影响。结果表明,弯曲型三明治结...

陈吉安 张亚民... 《金属功能材料》 2005年03期 期刊

关键词: 应力阻抗 / FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB / 三明治薄膜 / 弯曲型结构

下载(84)| 被引(1)

弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜巨磁阻...  CNKI文献

利用磁控溅射方法及微细加工技术制备了弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1~40MHz下研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应,结果表明弯曲型三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应高于它的传统的多...

张亚民 陈吉安... 《功能材料》 2005年06期 期刊

关键词: 巨磁阻抗 / FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB / 三明治薄膜 / 弯曲型结构

下载(96)| 被引(0)

FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB薄膜各层宽度对其巨磁阻抗效应...  CNKI文献

采用射频磁控溅射方法,利用微细加工工艺制备了不同薄膜宽度的三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1~40MHz下研究了薄膜宽度对多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应的影响。结果表明,三明治结构多层膜的巨...

张亚民 陈吉安... 《电子器件》 2005年02期 期刊

关键词: 巨磁阻抗 / FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB / 三明治薄膜 / 微细加工

下载(70)| 被引(0)

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